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            lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計

            訪問次數:567

            更新日期:2024-03-24

            簡要描述:

            lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C
            用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規的,可以通過EtherCAT通信進行控制,EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統。

            lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計
            品牌其他品牌類型超聲波
            測量范圍1m3/h

            lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

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            用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。

            用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規的,可以通過EtherCAT通信進行控制,EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統。

            半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環境溫度補償流量傳感器作為標準安裝,并且可以作為液化氣支架等選項添加。


            特點

            • 準確度±1%SP

            • 金屬密封件

            • 清潔(保證顆粒)

            • 環境溫度保證傳感器

            • EtherCAT通信

            選擇

            • 微流 F.S.

            • 兼容液化氣

            使用示例

            EtherCAT通信設備的通信統一

            越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信(數字I / F),用于高速控制機械臂等運輸系統。 EtherCAT通信有65,536個節點,MFC的所有測量系統和運動系統元件都可以與EtherCAT通信統一。

            lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

            規格


            溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍標準最高 F.S.sdaM
            15~35°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.10SCCM300SLM





            * 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。



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