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            lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S 便攜式超聲波流量計

            訪問次數:584

            更新日期:2024-03-24

            簡要描述:

            lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S
            低壓差質量流量控制器,最小工作壓差為800Pa。
            專有的環境溫度補償型傳感器低壓降規格和 &#177;1% F.S 的精度降低了壓降。

            lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S 便攜式超聲波流量計
            品牌其他品牌類型超聲波
            測量范圍1m3/h

            lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

            image.png

            低壓差質量流量控制器,最小工作壓差為800Pa。

            專有的環境溫度補償型傳感器低壓降規格和 ±1% F.S 的精度降低了壓降。

            壓電陶瓷執行器閥,可在低壓差下實現精確的流量控制和穩定性。

            特點

            • 低壓差 (800Pa)

            • 工作溫度 5~50°C

            • 金屬密封件

            • 清潔(保證顆粒)

            • 環境溫度補償傳感器

            • RS-485 通信

            選擇

            • 微流 F.S.

            使用示例

            低蒸氣壓氣體溫度下的流量控制

            MC-3000S是一款低壓質量流量控制器,如果二次側通過其專有的低壓降結構進行抽真空,即使在室溫下也能對H2O等液體原料進行流量控制。 推薦使用ITO濺射方法,該方法將少量水蒸氣發送到真空室。 此外,即使在室溫下,即使是低蒸氣壓的固體原料(如 XeF2),也可以進行流量控制。

            減壓罐船(SDS集裝箱)的流量控制

            離子注入機中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體,并且通常使用安全輸送源(SDS)容器來安全穩定地供應它們。 SDS填充的罐壓低于大氣壓,需要能夠在低壓差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結構,可在低至 800 Pa(6 Torr)的壓差下實現流量控制。

            lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

            規格


            溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍標準最高 F.S.密封
            5~50°C800帕133kPa±1%F.S.
            2~100%F.S.
            2SCCM30SCCM





            * 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。



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