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            lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L 便攜式超聲波流量計

            訪問次數:668

            更新日期:2024-03-24

            簡要描述:

            lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L
            高性能數字質量流量控制器,具有 &#177;1% SP 保證。

            lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L 便攜式超聲波流量計
            品牌其他品牌類型超聲波
            測量范圍1m3/h

            lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L

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            高性能數字質量流量控制器,具有 ±1% SP 保證。

            LINTEC的環境溫度補償傳感器即使在低溫下也能實現高精度的流量測量。 它可抑制由于傳感器受熱而導致的老化劣化,甚至可以控制流量,即使是臭氧等高度可降解的氣體。

            作為選項,高性能、數字質量流量控制器可以處理液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面間距和接頭名稱。


            長處

            • 準確度±1%SP

            • 工作溫度 5~50°C

            • 金屬密封件

            • 清潔(保證顆粒)

            • 環境溫度補償傳感器

            • RS-485 通信

            選擇

            • 微流 F.S.

            • 兼容液化氣

            使用示例

            半導體制造預處理

            由于CVD(化學氣相沉積)ALD沉積設備和蝕刻設備中使用高活性氣體,因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。

            此外,前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體,因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 MC-3000L高精度質量流量控制器可從液化氣選項中選擇,最高工作溫度為50°C(可選55°C)。

            分析器

            分析儀可能需要控制分鐘流速,但一般質量流量控制器的最小F.S.為5 SCCM,無法控制分鐘流速。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低尺寸。 詳情請聯絡我們。

            此外,高精度質量流量控制器MC-3000L還標配低死體積隔膜閥。

            lintec高性能數字質量流量控制器MC-3000L

            規格


            溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標準最高 F.S.密封
            5~50°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.5SCCM400SLM






            * 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。



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