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          1. 產品展示
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            日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22

            訪問次數:1061

            更新日期:2024-03-19

            簡要描述:

            日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22
            半導體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)

            日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22
            類型數字式測量范圍1

            日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22

            <用途>

             

            半導體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)

             

            <功能>

             

            1. 1??梢酝ㄟ^空氣背壓法進行非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量),并且不會造成刮擦和污染等損壞
            ??梢暂p松進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量),而無需依賴諸如薄膜和彩色光澤之類的材料
            。潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
            。即使鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
            。由于使用上下測量噴嘴進行測量,因此
               可以精確地測量“厚度”,而不受測量對象“打滑”引起的提升的影響。
             ?。ㄒ部梢赃x擇“滑行”測量(* 1))
            6。由于操作簡便,因此可以非常輕松地進行測量和校準(* 2)。

            <測量原理>

            精確控制上下測量噴嘴的背壓,對噴嘴進行定位,使噴嘴和被測物體之間的間隙保持恒定,并使用預先用基準量規校準的值進行比較計算處理。對被測物進行測量操作,可以精確計算出厚度。

            日本sasaki koki非接觸式測厚儀OZUMA22

            <性能>

              分辨率0.1μm
              重復精度10次重復測量時的標準偏差(1σ)0.3μm以下
              z大測量范圍 10mm(* 3)
              供應能源電源AC100V 50 / 60Hz 3A
                        清潔空氣0.4MPa 20NL /分鐘(* 4)

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